三豐MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度儀
產品特點：?高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。
?X1軸和Z2軸的*大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。
?X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。
?Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。
?Z1軸檢出器集成了防碰撞**裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。
?CS-5000CNC帶有a軸，可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。
?帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
?可選的外部控制功能(外部I/O)，與PLC實現雙向通信(RS-232C)。
三豐MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度儀
技術參數：
貨號
CS-5000CNC
CS-H5000CNC
X1 軸
測量范圍
200mm
分辨力
0.00625μm
長度基準
激光全息測微計
驅動速度
CNC型
*大40mm/s
操縱桿
0 - 40mm/s
測量速度
0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)
測量方向
向前/ 向后
直線度
(使用標準測針)
(0.1+0.0015L)μm L: 驅動長度 (mm)
(0.05+0.0003L)μm L: 驅動長度 (mm)
(使用二倍長型測針)
(0.2+0.0015L)μm L: 驅動長度 (mm)
(0.1+0.0015L)μm L: 驅動長度 (mm)
精度 (20oC)
±(0.3+0.002L)μm L: 驅動長度 (mm)
±(0.16+0.001L)μm L: 驅動長度 (mm)
Z1 軸 (檢出器)
測量范圍
(使用標準測針)
12mm
12μm
(使用二倍長型測針)
24mm
24μm
分辨力
(使用標準測針)
0.004 μm
0.001 μm
(使用二倍長型測針)
0.008 μm
0.002 μm
測針針尖垂直運動
弧形移動
長度基準
激光全息測微計
精度 (20oC)
(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm
H: 測量高度 (mm)
±(0.07+|0.02H|)μm
H: 測量高度 (mm)
測力
(使用標準測針)
4mN (固定)
(使用二倍長型測針)
0.75mN(固定)
跟蹤角度
向上: 60o, 向下: 60o, (根據表面粗糙度)
測針針尖形狀
標準測針
針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖
標準球頭測針
球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針
2倍測針
針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖
2倍測針
-
針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm,
金剛石針尖 2倍球頭測針
2倍球頭測針
球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石
測針方向
向下
Z2 軸 (立柱)
行程范圍
Z2 軸 (立柱, S 型)
300mm
Z2 軸 (立柱, H 型)
500mm-
分辨力
0.05μm
長度基準
反射型線性編碼器
驅動速度
CNC型
*大200mm/s
操縱桿
0 - 50mm/s
基座尺寸 (W×D)
750×600mm
